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HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

產品時間:2020-07-24

簡要描述:

SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.可選高精度數字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J$nHORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

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HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

SEC-E係列
型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
產品特點
1.適用於廣泛範圍的流量控製:在同一係列中,適於從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控製 
2. 適用於廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有眾多的銷售業績。

3.低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號: SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

技術規格

型號

SEC- (質量流量控製器)

SEC-E40、SEC-E40MK3

SEC-E50、SEC-E50MK3

SEF- (質量流量計)

SEF-E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用於N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不鏽鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控製範圍
(適於SEC係列)

2?100% F.S.

流量測量範圍
(適於SEF係列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反複性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適於SEC係列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適於SEF係列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

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