產品分類
您現在的位置:首頁 > 產品展示 > AALBORG產品 > 氣體質量流量控製器 > SEC-E40V(MK3)HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

產品時間:2020-05-09

簡要描述:

HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器
SEC-E係列
型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可選高精度數字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J

打印當前頁

發郵件給丝瓜app色版无限播放:68144326@qq.com

分享到:

HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

 

 

HORIBA

Semiconductor

 

SEC-E係列

                型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

                可選高精度數字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J,

 

產品特點

  

       *高速響應                                                                    *高精度                                                       *高速響應  

 

           概要

 

          · 適用於廣泛範圍的流量控製:在同一係列中,適於從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控製

 

          · 適用於廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有眾多的銷售業績。

 

          · 低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號: SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

 

 

 外形尺寸


 

技術規格

 

型號

SEC- (質量流量控製器)

SEC-E40、SEC-E40MK3

SEC-E50、SEC-E50MK3

SEF- (質量流量計)

SEF-E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用於N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不鏽鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控製範圍
(適於SEC係列)

2?100% F.S.

流量測量範圍
(適於SEF係列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反複性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適於SEC係列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適於SEF係列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 

 上海丝瓜app色版破解下载工業設備有限公司   上海丝瓜app色版破解下载工業設備有限公司  上海丝瓜app色版下载工業設備有限公司

 

型號

SEC- (質量流量控製器)

SEC-E60

SEC-E70

SEC-E80

SEF- (質量流量計)

E60

E70

E80

適用氣體種類*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

氣體接觸部材質

SUS316.氟化橡膠、磁性不鏽鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控製範圍 (適於SEC係列)

5?100% F.S.

流量測量範圍 (適於SEF係列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

2秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反複性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適於SEC係列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用壓力 (適於SEF係列)

350kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鍾減壓1%以內

使用環境溫度

5?45℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

3/8SWL 類型

1/2SWL 類型

 

*1:關於記載以外的氣體種類,請另行谘詢協商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行谘詢協商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。

HORIBA SEC-E40V(MK3)質量流量控製器

留言框

  • 產品:

  • 留言內容:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯係電話:

  • 常用郵箱:

  • 詳細地址:

  • 省份:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
客戶至上 用心服務
在線客服