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HORIBA STEC SEC-Z512MGX質量流量控製器

產品時間:2020-04-21

簡要描述:

HORIBA STEC SEC-Z512MGX質量流量控製器
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現量程上的高精度。為了真實的反應實際氣體精度,HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體創建了針對不同氣體的校正數據,建立標準氣體管理係統,實現氣體精度確認。

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HORIBA STEC SEC-Z512MGX質量流量控製器

 

品  牌:HORIBA STEC
產品型號:SEC-Z500X係列 / SEF-Z500X係列
原產  國:國外 日本 
詳細說明:SEC-Z500X係列數字式質量流量控製器、流量計

質量流量控製器是半導體生產設備上的關鍵部件。它的質量和性能是影響半導體製程優劣的主要因素。HORIBA STEC作為一家長期以來,為半導體持續不斷的提供高質量、高性能的元器件供應商,已將市場份額擴展到50%以上。

特征

  • 高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現量程上的高精度。為了真實的反應實際氣體精度,HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體創建了針對不同氣體的校正數據,建立標準氣體管理係統,實現氣體精度確認。
  •  
  • 高速響應
    裝載“變量PID係統”可實現兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基於流量設定點而持續變化。即使滿量程或氣體更改,也能不會影響PID功能。
  •  
  • 多氣體,多量程解決方案
    HORIBA的配置軟件可簡單更改MFC的規格。MFC的規格改變不需從設備端拆卸。此舉減少MFC庫存需求,減少時間和成本的浪費。

 

製造: HORIBA STEC

產品相關尺寸及其他;HORIBA STEC SEC-Z512MGX質量流量控製器

質量流量控製器型號

*1

SEC-Z512KX

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

 

SEC-Z512X

SEC-Z522XN

 

質量流量計型號

*1

SEF-Z512KX

SEF-Z512MGX

SEF-Z522MGXN

 

SEF-Z512X

SEF-Z522XN

 

 

 

 

全量程流量

(氮氣轉換流量)

 

 

 

1/2 SCCM

MR/MG 編號#R1.5: 17.5 SCCM

#1.5: 55 SCCM

#2.5: 175 SCCM

#3.5: 550 SCCM

#4.5: 1.75 SLM

#5.5: 5.5 SLM

#R01: 10 SCCM

#01: 30 SCCM

#02: 100 SCCM

#03: 300 SCCM

#04: 1 SLM

#05: 3 SLM

#06: 10 SLM

 

 

MR/MG 編號#6.5: 22 SLM

#07: 30 SLM

#08: 50 SLM

閥類型

O: 全開 C: 全閉

閥全閉時流量

≤ 2%F.S

流量控製範圍

2~100% F.S

流量監測範圍(SEF)

0~100% F.S

精度

*2

±1.0% F.S

±1.0% S.P. (設定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (設定流量≤ 25% F.S.)

工作溫度

5 ~ 50°C (推薦溫度範圍: 15 ~ 45°C)

響應時間

≤ 1 秒: 流量控製範圍

線性

≤±0.5%F.S

重複性

≤±0.2%F.S

工作壓差

50 ~ 300 kPa (d)

50 ~ 300 kPa (d)

#5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d)

200 ~ 300 kPa (d)

工作壓差(SEF)

≤ 300 kPa (d)

最大工作壓力

450 kPa (g)

最大承受壓力

1000 kPa (g)

外漏

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設定信號

0.1 ~ 5 V DC (2% ~ F.S); 輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號

0 ~ 5 V DC (0% ~ F.S.); 最小負載電阻2kΩ或更高

數字接口

具備地址功能n: RS-485 (傳送速率 38,400 bps) F-Net 協議

內部接觸表麵

316L 不鏽鋼 (表麵拋光)

電源供應

 

 

+15V 5% 150mA

-15V 5% 150 mA

 

信號響應

模擬式: D-Sub 9-pin (頂部) 數字式: 2 LAN jacks (頂部)

標準接頭

*3

1/4 英寸 VCR 相當

可選: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS

1/4 英寸 VCR相當

可選: 1.125英寸 IGS

 

安裝方向

自由

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