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HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控製器

產品時間:2020-05-08

簡要描述:

HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控製器
高精度
快速響應
自動調零
任意角度安裝

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HORIBA  S600≤50SLM氣體質量流量控製器

 

應用市場
質量流量控製器廣泛應用於半導體製造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物製藥等行業的氣流測量與控製。
 
質量流量控製器和質量流量計的區別
質量流量控製器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC),具備流量測量和流量控製兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),隻有流量測量功能,不具備氣流控製功能。
 
質量流量控製器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度,一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鍾
SLM–標準立方升每分鍾
1000SCCM = 1SLM

質量流量控製器和質量流量計使用小貼士

  • 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線後,確保環境溫度穩定並使其接電預熱15分鍾以上,可有效確保產品精度及穩定性。
  • 質量流量控製器中的Normal Close與Normal Open的區別

          Normal Close型的MFC: 斷電情況下,閥保持常關狀態的MFC。
          Normal Open型的MFC: 斷電情況下,閥保持全開狀態的MFC。

 

  • 在安裝過程中,位於MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。

 

S600係列 橡膠密封/金屬密封

S600係列 橡膠密封

產品型號

PROFIBUS(橡膠密封):BR226

PROFIBUS(金屬密封):BM26

RS485(橡膠密封):BR222

RS485(金屬密封):BM222

PROFIBUS(橡膠密封):CR226

RS485(橡膠密封):CR222

滿量程流量

10/20/100/200/300/500

SCCM1/2/3/5SLM

10/20/30SLM

 

50 SLM

 

100SLM

150SLM

200SLM

閥類型

常閉

常閉

閥驅動

電磁調節閥

電磁調節閥

流量控製範圍

2-100% F.S.

2-100% F.S.

響應時間

≤1. 5sec(Typical 1sec)

≤1. 5sec(Typical 1sec)

流量精度

±1.0%SP. Flow rate >30% F.S.

±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S.

±1.0%SP. Flow rate >30% F.S.

±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S.

線性

±0.5%F.S

±0.5%F.S

重複性

±0.2%F.S

±0.2%F.S

工作壓差

50~300kPa(D)

100~300kPa(D)

200~300kPa(D)

50~300kPa(D)

50~300kPa(D)

50~300kPa(D)

最大壓力

450Kpa(G)

300Kpa(G)

耐壓

1MPa(G)

1MPa(G)

通訊

PROFIBUS或RS485(STEC協議)

PROFIBUS或RS485(STEC協議)

電源電壓

±24VDC

±24VDC

功耗

7.5VA

7.5VA

 

HORIBA  S600≤50SLM氣體質量流量控製器

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