產品時間：2020-05-08
HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控製器高精度快速響應自動調零任意角度安裝
HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控製器
應用市場
質量流量控製器廣泛應用於半導體製造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物製藥等行業的氣流測量與控製。
質量流量控製器和質量流量計的區別
質量流量控製器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控製兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，隻有流量測量功能，不具備氣流控製功能。
質量流量控製器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鍾
SLM–標準立方升每分鍾
1000SCCM = 1SLM
質量流量控製器和質量流量計使用小貼士
Normal Close型的MFC： 斷電情況下，閥保持常關狀態的MFC。
Normal Open型的MFC： 斷電情況下，閥保持全開狀態的MFC。
| S600係列 橡膠密封/金屬密封 | S600係列 橡膠密封 | ||||||||
產品型號 | PROFIBUS(橡膠密封):BR226 PROFIBUS(金屬密封):BM26 RS485(橡膠密封):BR222 RS485(金屬密封):BM222 | PROFIBUS(橡膠密封):CR226 RS485(橡膠密封):CR222 | ||||||||
滿量程流量 | 10/20/100/200/300/500 SCCM1/2/3/5SLM | 10/20/30SLM
| 50 SLM
| 100SLM | 150SLM | 200SLM | ||||
閥類型 | 常閉 | 常閉 | ||||||||
閥驅動 | 電磁調節閥 | 電磁調節閥 | ||||||||
流量控製範圍 | 2-100% F.S. | 2-100% F.S. | ||||||||
響應時間 | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ||||||||
流量精度 | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ||||||||
線性 | ±0.5%F.S | ±0.5%F.S | ||||||||
重複性 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S | ||||||||
工作壓差 | 50~300kPa(D) | 100~300kPa(D) | 200~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | ||||
最大壓力 | 450Kpa（G） | 300Kpa（G） | ||||||||
耐壓 | 1MPa（G） | 1MPa（G） | ||||||||
通訊 | PROFIBUS或RS485(STEC協議) | PROFIBUS或RS485(STEC協議) | ||||||||
電源電壓 | ±24VDC | ±24VDC | ||||||||
功耗 | 7.5VA | 7.5VA | ||||||||
HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控製器
地址：上海市鬆江區廣富林路4855弄11號5樓 傳真：86-021-67895586 技術支持：化工儀器網 管理登陸 備案號： GoogleSitemap
上海丝瓜app色版下载工業設備有限公司 版權所有 © 2018.
打印當前頁
發郵件給丝瓜app色版破解下载：68144326@qq.com