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HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控製器

產品時間:2020-07-15

簡要描述:

HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控製器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控製器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控製器皆擁有寬泛的流量範圍

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HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控製器

概要

適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

特征

  • 大範圍控製,從微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多種通訊方式及電源供給

規格 

 

型號

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量範圍

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量範圍

                       2~100%全流量

精度

            ±1%設定流量(設定流量>30%全流量)

            ±0.3%全流量(設定流量≤30%全流量)

響應速度

                       1

氣路材質

SUS  316L,PTFE,磁性不鏽鋼

                     SUS  316L

密封圈材質

                                                  金屬/橡膠

閥門類型

NC;常閉

NC;常開

NO; 常開

適用的差壓範圍

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗壓能力

                                                            100KPag

產品外漏水平

                                             5X10-12Pa·m3/sHe;金屬密封

                                             1X10-10Pa·m3/sHe;橡膠密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

數字式通訊協議

                                                           RS-485

應用市場
質量流量控製器廣泛應用於半導體製造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物製藥等行業的氣流測量與控製。
 
質量流量控製器和質量流量計的區別
質量流量控製器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC),具備流量測量和流量控製兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),隻有流量測量功能,不具備氣流控製功能。
 
質量流量控製器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度,一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鍾
SLM–標準立方升每分鍾
1000SCCM = 1SLM

質量流量控製器和質量流量計使用小貼士

  • 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線後,確保環境溫度穩定並使其接電預熱15分鍾以上,可有效確保產品精度及穩定性。
  • 在安裝過程中,位於MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。
  •  

HORIBA SEC-N114MGM氣體質量流量控製器 

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