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HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控製器

產品時間:2020-07-15

簡要描述:

HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控製器
適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。

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HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控製器

概要

適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。

*1包括SEC-N177R

特征

  • 大範圍控製,從微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多種通訊方式及電源供給

 HORIBA STEC SEC-142JM質量流量控製器

n數字式/ 模擬式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式電流/電壓

l可與其它係列產品兼容

n複合氣體 / 複合量程

l可以方便的在客戶端更改對應氣體和量程

n高精度控製: ±1.0% 設定流量.

l選用與SEC-Z500係列相同的sensorbypass.

n快速響應:   在可控流量範圍內,響應時間1 sec

l內置PID參數,可以調整響應時間

n氣閥種類

l 電磁閥 (~50SLM)

l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

n密封圈材質 :橡膠 或 金屬

n氣路表麵 未經拋光處理

n接口     僅有VCR接口

nRoHS要求:   滿足RoHS要求

 

氣體質量流量控製器&氣體流量計

HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控製器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控製器皆擁有寬泛的流量範圍,客戶可選擇適合的類型。丝瓜app色版下载可提供三種閥門,客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣丝瓜app色版破解下载也可提供多種不同的通訊方式,包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決於產品型號)。丝瓜app色版无限播放產品的流量範圍可覆蓋微量流量直至大流量。

*1 Devicenet是一種通訊方式的標誌。
*2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標誌。

型號

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量範圍

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量範圍

                       2~100%全流量

精度

            ±1%設定流量(設定流量>30%全流量)

            ±0.3%全流量(設定流量≤30%全流量)

響應速度

                       1

氣路材質

SUS  316L,PTFE,磁性不鏽鋼

                     SUS  316L

密封圈材質

                                                  金屬/橡膠

閥門類型

NC;常閉

NC;常開

NO; 常開

適用的差壓範圍

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗壓能力

                                                            100KPag

產品外漏水平

                                             5X10-12Pa·m3/sHe;金屬密封

                                             1X10-10Pa·m3/sHe;橡膠密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

數字式通訊協議

                                                           RS-485

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