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HORIBA SEC-N122MGM質量流量控製器

產品時間:2020-04-14

簡要描述:

HORIBA SEC-N122MGM質量流量控製器
適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。

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HORIBA SEC-N122MGM質量流量控製器

HORIBA SEC-N122MGM質量流量控製器

概要

適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。

特征

  • 大範圍控製,從微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多種通訊方式及電源供給

產品規格 

型號

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量範圍

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量範圍

                       2~100%全流量

精度

            ±1%設定流量(設定流量>30%全流量)

            ±0.3%全流量(設定流量≤30%全流量)

響應速度

                       1

氣路材質

SUS  316L,PTFE,磁性不鏽鋼

                     SUS  316L

密封圈材質

                                                  金屬/橡膠

閥門類型

NC;常閉

NC;常開

NO; 常開

適用的差壓範圍

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗壓能力

                                                            100KPag

產品外漏水平

                                             5X10-12Pa·m3/sHe;金屬密封

                                             1X10-10Pa·m3/sHe;橡膠密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

數字式通訊協議

                                                           RS-485

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