產品分類
您現在的位置:首頁 > 產品展示 > HORIBA質量流量控製器 > 質量流量控製器 > HORIBA SEC-E50V(MK3)氣體質量流量控製器

HORIBA SEC-E50V(MK3)氣體質量流量控製器

產品時間:2020-07-24

簡要描述:

HORIBA SEC-E50V(MK3)氣體質量流量控製器$n被廣泛的應用於半導體、太陽能、實驗室、環境監測儀中。尤其在擴散爐中得到了廣大客戶的支持。適用於從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控製。

打印當前頁

發郵件給丝瓜app色版无限播放:68144326@qq.com

分享到:

HORIBA SEC-E50V(MK3)氣體質量流量控製器

 

· 適用於廣泛範圍的流量控製:在同一係列中,適於從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控製

· 適用於廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有眾多的銷售業績,引以為豪。

· 低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號: SEC-E40MK3/E50MK3

 技術規格

 

型號

SEC- (質量流量控製器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用於N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不鏽鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控製範圍
(適於SEC係列)

2?100% F.S.

流量測量範圍
(適於SEF係列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反複性

±0.2% F.S.

工作差壓值值 
(適於SEC係列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適於SEF係列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 

*1:關於記載以外的氣體種類,請另行谘詢協商。 
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行谘詢協商。 
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。

 

電氣連接:15針D型接口,±15VDC電源

管路連接:1/4",水平安裝

 

訂貨需知:

請提供氣體名稱、量程、接口尺寸、進口壓力。

如是更換部件,請提供原產品背麵清晰圖片。 

HORIBA SEC-E50V(MK3)氣體質量流量控製器

留言框

  • 產品:

  • 留言內容:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯係電話:

  • 常用郵箱:

  • 詳細地址:

  • 省份:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
客戶至上 用心服務
在線客服