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HORIBA SEC-E50(MK3)質量流量控製器

產品時間:2019-06-24

簡要描述:

HORIBA SEC-E50(MK3)質量流量控製器
Horiba SEC-E50 質量流量控製器Horiba MFC被應用於半導體、太陽能、實驗室、環境監測儀中。

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HORIBA SEC-E50(MK3)質量流量控製器

Horiba SEC-E50 質量流量控製器在擴散爐中得到了廣大客戶的支持。適用於從微小流量300sccm到流量30slpm的控製。

 

概要

·  適用於範圍的流量控製:在同一係列中,適於從0.2SCCM500SLM(N2)的流量控製

·  適用於廣泛的用途:在普通產業市場中,擁有多的銷售業績。

·  低成本:產品陣容中有力求具有成本優勢的型號: SEC-E40MK3SEC-E50MK3

 

技術規格

型號

SEC- (質量流量控製器)

SEC-E40SEC-E40MK3

SEC-E50SEC-E50MK3

SEF- (質量流量計)

SEF-E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用於N2O2、空氣、H2ArHe)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不鏽鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控製範圍
  (適於SEC係列)

2?100% F.S.

流量測量範圍
  (適於SEF係列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反複性

±0.2% F.S.

工作差壓值值 
  (
適於SEC係列)

10 SCCM?5 SLM50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
  (適於SEF係列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環境溫度

5?50(精度的確保:15?35)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(zui小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA

 -15VDC ±5% 150mA 3VA

15VDC ±5% 50mA

?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 

*1:關於記載以外的氣體種類,請另行谘詢協商。 
*2
也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行谘詢協商。 
SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:zui大值300kPa(G)SEC-70/80:zui大值350kPa(G)以下。
 SCCMSLM是表示氣體的流量單位(mL/minL/minat0101.3kPa)的記號。

HORIBA SEC-E50(MK3)質量流量控製器

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