HORIBA SEC-E40（MK3）質量流量控製器

產品時間：2020-07-24

簡要描述：

HORIBA SEC-E40（MK3）質量流量控製器$n所謂質量流量控製器是一種計測和控製流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。

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詳細介紹

HORIBA SEC-E40（MK3）質量流量控製器

概要

所謂質量流量控製器是一種計測和控製流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由於受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控製的領域，質量流量控製器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工製造業等。

特征

適用於寬廣範圍的流量控製，其控製範圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標準）
被廣泛的使用於全球的製造業，從一般工業到高科技產業。

製造: HORIBA STEC

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