horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器

horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器

概要;

• 可以任意角度安裝
• 良好的線性——多段線性補償
• 快速的響應
• 電磁閥使用壽命≥100萬次
• 對零點漂移有效的抑製
• 零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
• 良好的選擇性

  編號	項目	S48 28/HMT
  1	流量規格	(100,150,200)L/min
  2	調節閥類型	電磁調節閥
  3	調節閥靜止狀態	常閉
  4	安裝角度	任意
  5	流量控製範圍	5%～100%
  6	流量測量範圍	0～100%
  7	響應時間	2s（T98，設定值的±2% F.S.）
  8	工作環境溫度	5℃～50℃
  9	精度保證溫度	15℃～35℃
  10	精度	±1.0%F.S.
  11	線性精度	±0.5%F.S.
  12	重複性	±0.2%F.S.
  13	工作壓差	（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
  14	耐壓	3MPa
  15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
  16	接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
  17	管路接頭	Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″
  18	供電電源	±15VDC(±5%)   +15V，＜100mA；-15V，＜200mA	+24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供電時)
  19	設定信號	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定製：1～5V或0～5V）
  20	流量輸出信號	(0～5)VDC 負載能力≤3mA
  21	電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
  22	重量(kg)	2.8

   

  S48 28/HMT 安裝尺寸圖：

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