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horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器

產品時間:2020-05-09

簡要描述:

horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器
概要;

可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的抑製
零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
良好的選擇性

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horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器

概要;

  • 可以任意角度安裝
  • 良好的線性——多段線性補償
  • 快速的響應
  • 電磁閥使用壽命≥100萬次
  • 對零點漂移有效的抑製
  • 零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
  • 良好的選擇性
    編號項目S48 28/HMT
    1流量規格 (100,150,200)L/min
    2調節閥類型電磁調節閥
    3調節閥靜止狀態常閉
    4安裝角度任意
    5流量控製範圍5%~100%
    6流量測量範圍0~100%
    7響應時間2s(T98,設定值的±2% F.S.)
    8工作環境溫度5℃~50℃
    9精度保證溫度15℃~35℃
    10精度±1.0%F.S.
    11線性精度±0.5%F.S.
    12重複性±0.2%F.S.
    13工作壓差(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
    14耐壓3MPa
    15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
    16接觸氣體材料316L,PTFE,Viton氟橡膠
    17管路接頭Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
    VCR:1/4″3/8″
    18供電電源±15VDC(±5%)  
    +15V,<100mA;-15V,<200mA
    +24VDC(寬電壓+11~+25V),
    <350mA(+24VDC供電時)
    19設定信號(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定製:1~5V或0~5V)
    20流量輸出信號(0~5)VDC 負載能力≤3mA 
    21電氣接頭D-SUB15,D-SUB9
    22重量(kg)2.8
     

    S48 28/HMT 安裝尺寸圖:

  • horiba S48-28HMT熱式氣體質量流量控製器

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