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HORIBA S500熱式氣體質量流量計

產品時間:2020-05-09

簡要描述:

HORIBA S500熱式質量流量計,氣體質量流量計,質量流量控製器
特點;高精度
快速響應
自動調零
任意角度安裝
HORIBA S500熱式氣體質量流量計

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HORIBA S500熱式氣體質量流量計

 HORIBA S500熱式質量流量計,氣體質量流量計,質量流量控製器

特點

     

  • 高精度
  • 快速響應
  • 自動調零
  • 任意角度安裝

產品規格

   

型號

S500 (規格Type AR111)

外部密封

氟橡膠

接觸氣體材料

SUS316L,氟橡膠,磁性不鏽鋼

調節閥類型

非通電時常閉

滿量程流量(N2換算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min   1,2,3,5,10,20,30 L/min

 

流量控製範圍

2%~100%F.S. (0.1~5V DC)

流量測量範圍

0~100%F.S. (0~5V DC)

響應時間(輸出電壓)

 1秒 (保證 1.5秒以內T98) 

工作環境溫度

5~45℃ (精度保證 15~35℃)

流量精度

±1.0%F.S.

線性

±0.5%F.S.

重複性

±0.2%F.S.

工作壓差

10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)

最大工作(使用)壓力

300kPa(G)

耐壓

3MPa(G)

泄漏率

1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下

流量設定信號

0.1~5VDC(2%~100%F.S.)

流量輸出信號

0~5VDC(0%~100%F.S.)

供電電源

+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下

管路接頭

1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR

安裝角度

任意

電氣接頭

D-Sub 15pin

輸入輸出阻抗

輸入:1MΩ以上  輸出:3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close

 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  

**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內  HORIBA S500熱式氣體質量流量計

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