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HORIBA UR-714M-B數字式自動壓力調節器

產品時間:2019-06-24

簡要描述:

日本HORIBA UR-712M-B數字式自動壓力調節器壓力控製器UR-Z700係列
日本HORIBA UR-712M-B數字式自動壓力調節器壓力控製器UR-Z700係列
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HORIBA UR-714M-B數字式自動壓力調節器

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HORIBA UR-714M-B數字式自動壓力調節器

 

常見的壓力控製器是UR-Z700係列,一款數字式自動壓力調節器。根據不同用途,該係列還劃分為控後端壓力的UR-Z700M係列和控前端壓力的UR-Z700M-B係列。該壓力調節器常運用於MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當供氣壓力突然發生變化時,管道或罐體內的壓力也隨之發生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩定,可能會對整台設備的安全造成威脅。對於這個問題HORIBA集團研發出UR-Z700係列,通過快速響應,高精度,穩定控製來調整管路壓力。麵對這種情況,隻要管路裝載UR-Z700係列就能夠穩定的控製壓力,氣體質量流量控製器及反應源液的安全穩定運行。

特征

 

    • 可使用DeviceNet控製接口
    • 符合環保要求的RoHS處理

 

                 製造: HORIBA STEC

  • 複合氣體/複合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
  • 可變PID功能提供全流量範圍高速響應時間(在一秒以內)
  • 緊湊型氣路-不需要調壓閥,壓力傳感器和過濾器
  • 穩定氣體流量控製,不受上流和下流壓力的影響
  • 集成進氣端壓力傳感器
  • 自身多種顯示
  • 精度保證1%設定流量
  • 超潔淨設計:金屬密封圈,所有都是SUS-316L不鏽鋼,並且經過表麵拋光(標準)
  • 緊湊型尺寸-50SLM以內采用一樣的尺寸
  • 信號兼容-模擬/RS485數字模式,DeviceNet模式
  1. 網絡功能-通過數字信號控製

 HORIBA UR-714M-B數字式自動壓力調節器

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