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HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控製器

產品時間:2019-06-28

簡要描述:

日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3氣體質量流量控製器$n產品型號$nHORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控製器$nSTEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3

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HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控製器

概要

MARK3係列是在未改變質量流量控製器的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500係列完全*。主要用途為製程用的氣體流量控製、根據重點關注於重複性以及限定氣體的種類、流量進行生產、實現了成本降低。適合於定流量、長時間的穩定控製重複控製的場合。而且也同樣適用於研究所的簡易流量控製。

特征

  • 搭載熱感閥
  • 追求成本優勢、實現成本降低

規格

 

SEC-400MK3

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控製範圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控製範圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

 HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控製器

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