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HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控製器

產品時間:2020-07-24

簡要描述:

日本HORIBA STEC SEC-Z512KX高精度氣體質量流量控製器$nHORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控製器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控製器皆擁有寬泛的流量範圍,客戶可選擇適合的閥門類型。HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控製器

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HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控製器

     HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控製器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控製器皆擁有寬泛的流量範圍,客戶可選擇適合的閥門類型。丝瓜app色版破解下载可提供三種閥門,客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣丝瓜app色版下载安卓也可提供多種不同的通訊方式,包括模擬式、數字式、DeviceNet™,以及PROFIBUS™,RS485,cc-link,(取決於產品型號)。

        HORIBA STEC使用戶自己在現場改變氣體種類或滿量程流量成為可能。丝瓜app色版下载安卓的Z500設置軟件讓隨需改規格成為可能。而且更為便利的是,這些更改可以在不拆卸MFC的條件下完成。這減少了用戶需要儲備的備用MFC的數量,同時也能節省時間和成本。

氣體種類

MR/MG

號碼

N2

Ar

H2

SF6

HBr

WF6

SEC-Z51nX係列

R01

3 – 10

4 – 11

1 – 3

R1.5

 

 

 

 

1

8 – 30

11 – 35

8 – 30

3 – 11

5 – 9

1.5

 

 

 

 

9 – 17

2

25 – 100

35 – 110

25 – 100

9 – 36

15 – 28

5 – 6

2.5

 

 

 

 

25 – 50

6 – 11

3

75 – 300

110 – 350

75 – 300

28 – 100

44 – 86

11 – 20

3.5

 

 

 

 

79 – 150

19 – 37

4

250 – 1000

350 – 1100

250 – 1000

90 – 350

150 – 280

34 – 67

4.5

 

 

 

 

280 – 540

60 – 110

5

750 – 3000

1100 – 3500

750 – 3000

260 – 1000

470 – 930

110 – 200

5.5

 

 

 

 

860 – 1700

190 – 370

6

2500 – 10000

3500 – 11000

2500 – 10000

780 – 3100

1600 – 3100

360 – 700

SEC-Z52nX係列

6.5

 

 

 

 

7

10000 – 30000

10000 – 30000

10000 – 30000

8

30000 – 50000

30000 – 50000

30000 – 50000

 

質量流量控製器型號

*1

SEC-Z512KX

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

 

 

 

SEC-Z512X

SEC-Z522XN

SEC-Z522X

質量流量計型號

*1

SEF-Z512KX

SEF-Z512MGX

SEF-Z522MGXN

SEF-Z522MGX

 

 

 

SEF-Z512X

SEF-Z522XN

SEF-Z522X

 

 

 

全量程流量

(氮氣轉換流量)

 

 

 

1/2SCCM

MR/MG 編號#R1.5: 17.5 SCCM

#1.5: 55SCCM

#2.5: 175 SCCM

#3.5: 550 SCCM

#4.5: 1.75SLM

#5.5: 5.5SLM

#R01: 10SCCM

#01: 30SCCM

#02: 100 SCCM

#03: 300 SCCM

#04: 1 SLM

#05: 3 SLM

#06: 10 SLM

 

 

MR/MG 編號#6.5: 22 SLM

#07: 30 SLM

#08: 50 SLM

閥類型

O: 全開 C: 全閉

閥全閉時流量

≤ 2%F.S

流量控製範圍

2~100% F.S

流量監測範圍(SEF)

0~100% F.S

精度

*2

±1.0% F.S

±1.0% S.P. (設定流量>25%F.S.) ±0.25% F.S. (設定流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 ~ 50°C (推薦溫度範圍: 15 ~ 45°C)

響應時間

≤ 1 秒: 流量控製範圍

線性

≤±0.5%F.S

重複性

≤±0.2%F.S

工作壓差

50 ~ 300 kPa(d)

50 ~ 300 kPa(d)

#5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d)

200 ~ 300 kPa(d)

工作壓差(SEF)

≤ 300 kPa (d)

最大工作壓力

450 kPa (g)

最大承受壓力

1000 kPa (g)

外漏

≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He)

流量設定信號

0.1 ~ 5V DC(2% ~ F.S); 輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號

0 ~ 5 V DC (0% ~F.S.); 最小負載電阻2kΩ或更高

數字接口

具備地址功能n: RS-485 (傳送速率 38,400 bps) F-Net 協議

內部接觸表麵

316L 不鏽鋼 (表麵拋光)

電源供應

 

 

+15V 5% 150mA

-15V5%150mA

 

信號響應

模擬式:D-Sub9-pin (頂部) 數字式: 2LANjacks (頂部)

標準接頭

*3

1/4 英寸VCR相當

可選: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS

1/4 英寸 VCR相當

可選: 1.125英寸 IGS

1.5英寸 IGS

安裝方向

自由

 HORIBA STEC SEC-Z512KX質量流量控製器

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