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HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控製器

產品時間:2019-06-28

簡要描述:

HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控製器$n訂貨號S49加工定製是貨號s49$n品牌HORIBA型號S49 31/MT類型質量流量控製器$n測量範圍0.05~0.3)MPa; (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min(m3/h)精度等級±1%F.S(10mL/min~5L/min規格,其餘規格≤±2% F.S)公稱通徑-(mm)

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 HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控製器

S49 31/MT流量控製器、S49 31A/MT流量計技術指標

編號 項目 S49 31/MT S49 31A/MT
1 流量規格 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(0~1,2,3,5)L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥  
3 調節閥靜止狀態 常閉  
4 準確度 ±1%F.S(10mL/min~5L/min規格,其餘規格≤±2% F.S)
5 線性 ±1.0%F.S,±1.5%F.S
6 重複精度 ±0.2%F.S
7 響應時間 (3~4)s
8 工作壓差範圍 (0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min
9 耐壓 3MPa;           10MPa
10 工作環境溫度 5℃~45℃
11 材料 不鏽鋼316L
12 標準密封材料 Viton®,    EPDM,  或其他由用戶
13 漏率 1×10-9atm.mL/s (He)
14 接頭 Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其他
15 輸入輸出信號 0V~+5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16 供電電源 ±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)
17 外形尺寸mm 134×134×38
18 重量kg 1.0

 


S49 31/MT 係列質量流量控製器外形及安裝尺寸

HORIBA S49 31/MT氣體質量流量控製器

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