產品時間:2020-10-14
概要 HORIBA STEC SEC-N122JM氣體質量流量控製器適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。
HORIBA STEC SEC-N122JM氣體質量流量控製器
型號;HORIBA STEC SEC-N122JM氣體質量流量控製
SEC-N112MGRW SEC-N22MGM SEC-N122MGRW SEC-N112JM SEC-N122JM SEC-N132JM SEC-N142JM
SEC-N176R(1000SLM) SEC-N114MGM SEC-N124MGM SEC-N134MGM SEC-N116MGRW SEC-N126MGRW
SEC-N136MGM
適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102 係列 | 數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協議 模擬式通訊 ?0~5VDC | HORIBA可提供PE係列供應電源 |
SEC-N104 係列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N105 係列 | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通訊方式 |
|
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107係列 | EtherCAT® 通訊方式 | 符合EtherCAT®標準 24VDC ± 4V |
(*1)包括SEC-N17XR
HORIBA STEC SEC-N122JM氣體質量流量控製器
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