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氣體質量流量控製器有關技術問題的問答
  • 發布日期:2020-09-03      瀏覽次數:32

    •     越來越多的朋友對氣體質量流量控製器產生了濃厚的興趣。為了幫助朋友們更好地選購和使用此類產品,丝瓜app色版无限播放對曾經遇到過的有關技術和工藝方麵的疑問統一整理回答,供朋友們參考。

          1.什麽是氣體質量流量控製器

          氣體質量流量控製器,是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。

          氣體質量流量控製器不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控製氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使係統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控製器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。

          2.氣體質量流量控製器的原理是什麽?

          氣體質量流量控製器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控製器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大後的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大後去控製調節閥門,閉環控製流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控製器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。

          3.怎麽理解氣體質量流量控製器的流量單位?

          氣體質量流量單位一般以sccm(StandardCubicCentimeterperMinute,每分鍾標準毫升)和slm(StandardLiterperMinute,每分鍾標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為:氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同於mL/min﹑L/min之處。

          對多數用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便於使用,但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量(如g/min),這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數,可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若幹slm)即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同於質量流量。

          需要注意的是,被全世界質量流量控製器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位,不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位(Kg/min),但是它符合國際半導體協會製定的SEMI國際標準。
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