氣體質量流量控製器&氣體流量計

HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控製器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控製器皆擁有寬泛的流量範圍，客戶可選擇適合的類型。丝瓜app色版下载安卓可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣丝瓜app色版下载也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決於產品型號)。丝瓜app色版下载產品的流量範圍可覆蓋微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一種通訊方式的標誌。
*2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標誌。

 高範圍

壓力不敏感型高性能質量流量控製器D500
壓力不敏感型高性能質量流量控製器: D500
高穩定性質量流量模塊—氣體流量控製不受上遊和下遊壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

性能產品

熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計SEC-Z700係列
應用高溫技術的高可靠性，高精度數字式流量控製器

高銷量

多範圍/多氣體的數字式質量流量控製器 SEC-Z500X
提供多氣體，多量程的解決方案，是HORIBA的氣體質量流量控製器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬

通用（數字/模擬式 通訊模式）

數字式質量流量控製器 SEC-N100 係列
針對多種工業。多種通訊方式，數字式/模擬式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大範圍控製從10SCCM到1000SLM，全金屬

通用（模擬式 通訊模式）

質量流量控製器 SEC-E係列
適用於廣泛範圍的流量控製：在同一係列中，適於從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控製 適用於廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。 低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3

 
質量流量控製器 SEC-400係列
它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大於0.1SCCM的微小流量控製。並且，利用SEC-623可以進行小於200SLM的大流量控製。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控製.

 高溫

高溫應用質量流量控製器 SEC-8000F/D/E係列
適用於高溫環境的數字式質量流量控製器