HORIBA集團旗下經典，市場占有率大的產品即熱式質量流量控製器，其原理是利用氣流流過毛細管造成毛細管上下遊溫差從而檢測、控製氣體質量流量。不同於容積式流量計或流量控製器，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。由於上下遊溫差總是實時反應氣流瞬時流量，所以適用於過程控製中的氣體流量的精密測量和控製。

應用市場
質量流量控製器廣泛應用於半導體製造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物製藥等行業的氣流測量與控製。
 
質量流量控製器和質量流量計的區別
質量流量控製器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控製兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，隻有流量測量功能，不具備氣流控製功能。
 
質量流量控製器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鍾
SLM–標準立方升每分鍾
1000SCCM = 1SLM

質量流量控製器和質量流量計使用小貼士

• 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線後，確保環境溫度穩定並使其接電預熱15分鍾以上，可有效確保產品精度及穩定性。

• 在安裝過程中，位於MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。

• 質量流量控製器中的Normal Close與Normal Open的區別

Normal Close型的MFC： 斷電情況下，閥保持常關狀態的MFC。
Normal Open型的MFC： 斷電情況下，閥保持全開狀態的MFC。