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HORIBA STEC SEC-N100係列產品應用
  • 發布日期:2020-05-07      瀏覽次數:281
    • 適用於多種不同的產業應用。可實現大範圍控製從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。

      *1包括SEC-N177R

      n目前的SEC-Z500X 係列產品主要使用於半導體製程, SEC-N100 作為它的重要補充,主要針對非芯片半導體製程而開發。

       

      n同半導體製程一樣,非芯片半導體工藝也已經形成相對統一的製造標準, SEC-N100 係列產品能夠滿足廣大客戶對不同製程規範的要求。

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